祝(zhu)曉釗先生在全球光伏(fu)前沿技術大會（6）：薄膜與鈣鈦(tai)礦(kuang)上針對真空蒸鍍機在鈣鈦(tai)礦(kuang)與疊(die)層電池產業化上的應用進行分享。

首先祝先生介(jie)紹了真空(kong)蒸鍍優勢：

一、高純度

真空(kong)蒸鍍是在真空(kong)環境下進行的表面(mian)處(chu)理技術，因此(ci)可以保(bao)證在加工過程(cheng)中(zhong)不會受到氧化、粘(zhan)附、污染等因素的影響，從而保(bao)證了制品的高(gao)純度。

二、高均一性

真空蒸(zheng)鍍(du)可以使加工件(jian)表面(mian)形成一層(ceng)均勻、致密、低缺陷的(de)薄膜，因此制(zhi)品的(de)表面(mian)均一性得到了保證，可以大大提(ti)高(gao)加工件(jian)的(de)性能和品質(zhi)。

三、節約材料

真空蒸鍍技(ji)術可以(yi)使材料(liao)(liao)利(li)用效率顯著(zhu)提高，因(yin)為只需在材料(liao)(liao)表面形成(cheng)薄膜，可以(yi)大(da)(da)大(da)(da)縮小材料(liao)(liao)的用量(liang)，從(cong)而節(jie)約資源和降低(di)成(cheng)本。

四、多元化應用

真空蒸鍍(du)技術廣泛(fan)應用(yong)于材料加工、電子元器件、光學(xue)儀器、化學(xue)材料、制(zhi)藥等領域(yu)，可為不同領域(yu)的制(zhi)品提供(gong)不同的表面處理方案。

五、環保節能

真(zhen)空(kong)(kong)蒸鍍(du)技(ji)(ji)術在(zai)加工過程中不需要使用外部(bu)溶劑，不會產生污染和廢棄物，符合(he)環保節能要求。其(qi)次，介紹了真(zhen)空(kong)(kong)蒸鍍(du)技(ji)(ji)術在(zai)鈣鈦礦制備中的(de)應用。蒸鍍(du)CuPC作為空(kong)(kong)穴傳輸層，器(qi)件(jian)效率(lv)達(da)(da)20.17%，蒸鍍(du)Spiro-TTB作為空(kong)(kong)六傳輸層，器(qi)件(jian)效空(kong)(kong)達(da)(da)19.45%。鈣鈦礦層順序蒸鍍(du)法(fa)，順(shun)序(xu)蒸鍍法(fa)制備鈣鈦礦層，器(qi)件效率26.41%。

最(zui)后(hou)分(fen)享了方昇(sheng)光(guang)電(dian)成果(guo)，每年為科研院校和(he)企業提供百余套(tao)真空(kong)蒸鍍設備；滿足(zu)鈣(gai)鈦(tai)礦太(tai)陽能電(dian)池、OLED及(ji)QLED制(zhi)備；光(guang)伏客(ke)戶：己銷售給30余家光(guang)伏企業（晶硅、鈣(gai)鈦(tai)礦、OPV），共計40余臺蒸鎮設備，市占率第一。

同時中試(shi)型(xing)蒸鍍設(she)備(bei)性能國內領先(xian)，小試(shi)型(xing)Inline式(shi)鈣鈦礦太陽電池蒸鍍設(she)備(bei)，基(ji)板尺寸300 mm *300 mm，采用線源和點源，可實(shi)現碘化鋁(lv)、C60、BCP、銀、銅、鋁(lv)等(deng)材料的蒸鍍，已(yi)出貨數臺(tai)；小試(shi)型(xing)團族式(shi)鈣鈦礦蒸鍍設(she)備(bei)，多(duo)腔體設(she)備(bei)，兼容210mmx 210mm玻璃基(ji)板與晶園，可集成磁控(kong)濺射、ALD等(deng)設(she)備(bei)，已(yi)銷售數臺(tai)。